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主动隔振技术在电子显微镜中的应用 AVI系列技术优势 Herzan的AVI系列能是隔震频率实现最大的分辨率。 在所有的六个维度,AVI系列可以实现亚赫兹的隔震性能。在2Hz下可衰减90%的震动,在5Hz可衰减99%,在10Hz可衰减99.8%
AVI系列特性 可实现从0.5~200Hz的主动隔震频率 超出200Hz可实现被动隔震 六个维度实现隔震 内部反馈循环 紧凑,模块化的设计 安装,使用简单,无需持续的维护
使用的技术 AVI系列内部使用压电振动传感器,在AVI系统内部,至少具有八个压电振动传感器。分别探测六个维度的震动数据。 另外,压电加速计可以将动力学振动能量转换为电子讯号,从而转换为控制电子信号,电子协调和处理从各种压电传感器测来的信号,并用算法进行处理。然后,将把电子信号发送到执行器。实现信号的反馈。
使用效果
使用被动隔震之后的SEM图像
振动(Vibration),特别是20Hz 以下的低频振动对电子显微镜(简称电镜)的干扰影响很大。
如果测试结果表明准备安装电镜的场所振动超标,则必须采取适当措施,否则
主动式减震器一般常用的有压电陶瓷式(性能好价格昂贵)、空气式(目前国 |