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主动隔振技术在电子显微镜中的应用
AVI系列技术优势
Herzan的AVI系列能是隔震频率实现最大的分辨率。
在所有的六个维度，AVI系列可以实现亚赫兹的隔震性能。在2Hz下可衰减90%的震动，在5Hz可衰减99%，在10Hz可衰减99.8%
AVI系列特性
可实现从0.5~200Hz的主动隔震频率
超出200Hz可实现被动隔震
六个维度实现隔震
内部反馈循环
紧凑，模块化的设计
安装，使用简单，无需持续的维护
使用的技术
AVI系列内部使用压电振动传感器，在AVI系统内部，至少具有八个压电振动传感器。分别探测六个维度的震动数据。
另外，压电加速计可以将动力学振动能量转换为电子讯号，从而转换为控制电子信号，电子协调和处理从各种压电传感器测来的信号，并用算法进行处理。然后，将把电子信号发送到执行器。实现信号的反馈。
使用效果
使用主动隔震之前的SEM图像
使用被动隔震之后的SEM图像
振动（Vibration），特别是20Hz 以下的低频振动对电子显微镜（简称电镜）的干扰影响很大。
如果测试结果表明准备安装电镜的场所振动超标，则必须采取适当措施，否则
电镜厂家不能保证电镜安装后的性能可以达到最佳设计标准。一般可以选择混凝土
减震台（Anti-Vibration Foundation）、被动式减震器(Passive-Vibration Isolation
Platform)、主动式减震器(Active-Vibration Isolation Platform)等几种方法来改善或解
决。
混凝土减震台需要现场施工，且必须采取特殊方法（底部和周围有弹性软垫层
等），一般的土建施工方法有可能反而增加低频（20Hz 以下）振动。施工中有大
量土建材料进出难免影响周围环境。混凝土减震台的示意图见。
混凝土减震台的质量越大减振性越好，经多次实测，小于10 吨的减震台在1～
10Hz 低频段内有谐振，反而增大了振动。
在被动式减震器中，一般常用的橡胶、钢弹簧、空气弹簧（汽缸）等方式的减
震器因为它们在20Hz 以下的低频段效果很差，甚至往往由于谐振反而加大了振动，
所以不考虑采用。只有磁力减震器（国产专利产品）的低频效果较好。下图是几种
减震方式的效果比较。
主动式减震器一般常用的有压电陶瓷式（性能好价格昂贵）、空气式（目前国
内电镜领域尚无成功的应用报告）、电磁式及电动机式等。它们的区别主要是执行
机构不同，而三维探测器和PID 控制器都大同小异。
压电陶瓷式：利用压电陶瓷的晶体压电效应产生等幅反相的三维内部振动。
空气式：由PID 控制器控制进（排）气阀，连续可控的压缩空气在特殊的汽
缸内产生等幅反相的三维内部振动。
电磁式：PID 控制器分接控制三组电磁铁产生等幅反相的三维内部振动。
主动式减震器的减振效果可以达到20Hz 以上约-22～-28dB。
不同形式的主动式减震器价格亦有较大的差异。各种减震器最好在电镜就位安
装之前准备好，与电镜同时安装。
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